FOM Valorisatie Prijs 2010 voor Fred Bijkerk

19 juli 2010
De Stichting FOM heeft de FOM Valorisatie Prijs 2010 vandaag toegekend aan prof.dr. Fred Bijkerk (FOM-Instituut Rijnhuizen en het MESA+Instituut voor Nanotechnologie, UT)

 

Fred Bijkerk ontvangt deze prijs ter waarde van 250.000 euro voor zijn werk op het gebied van multilaag optiek voor licht met korte golflengte, zoals bijvoorbeeld Extreem Ultraviolet (EUV) licht. De prijs zal, tegelijk met de andere wetenschappelijke FOM-prijzen, uitgereikt worden op 18 januari 2011, tijdens het jaarlijkse congres Physics@FOM Veldhoven. De prijs dient als inspirerend voorbeeld voor andere onderzoekers om kennisbenutting uit fysisch onderzoek te stimuleren.

 

Een 'valorisatie highlight' uit het werk van Bijkerk, gerealiseerd binnen het FOM-Industrial Partnership Programme 'Extreme UV multilayer optics'. De foto toont één van de twee zogenaamde EUV Alpha Demo Tools, geavanceerde fotolithografie-apparatuur werkend met de ultrakorte golflengte van 13,5 nm. Met deze prototype ‘EUV-scanners’, wordt nu een pilot-fabricage van halfgeleidersystemen zoals flash-memory en processoren uitgevoerd. Bijkerk’s procédé wordt verder ingezet voor de volgende generatie EUV scanners, waarvan er nu zes zijn verkocht aan chip-fabrikanten.

 

Over de prijs

De FOM Valorisatie Prijs is ingesteld door de Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie om kennisbenutting van fysisch onderzoek te stimuleren. De prijs wordt jaarlijks uitgereikt aan een onderzoeker (of groep van onderzoekers) werkzaam in de fysica aan een Nederlandse onderzoeksinstelling die erin geslaagd is resultaten uit het eigen onderzoek tot nut voor de maatschappij te maken. De FOM Valorisatie Prijs is een eerbetoon. De winnaar krijgt een bedrag van 250.000 euro. Hiervan is 235.000 euro bedoeld als subsidie voor een nieuw onderzoek/valorisatieproject. De overige 15.000 euro is voor persoonlijk gebruik door de winnaar.